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第802章 欧皇妲 我不太懂光刻胶（第1页）

程新彤显然也是听说过自己这小师妹的传奇。因为自己的光刻胶研究，现在的主要客户，就是茂市的紫晶工厂。作为一个纯国产研究的光刻胶材料厂商，程新彤自然是知道国产的光刻胶是比不上樱花国的。在以前，她也向国内诸多芯片制造厂推荐，但是奈何，因为技术不成熟，并没有多少大公司愿意使用新彤的光刻胶。就在一年以前，情况变了。紫晶工厂自己给了一个亿的大订单，并且要求他们逐步更新光刻胶技术。有了客户订单，就有了资金，有了资金，就可以继续钻研。陆陆续续的，新彤光刻胶又做了不少的技术迭代。而紫晶工厂，也是从多个光刻胶厂商中对比发现新彤光刻胶是目前自研所做的最好的，于是继续增加采购订单。一直到现在，新彤光刻胶的质量已经相当不错。只是如果是要用到13n制程的光刻机上，还是有些差距。为此程新彤是急的晕头转向，找遍了国内的顶级材料研究团队，然后又是请教自己二十年前的导师，这才无意中被推荐找来欧皇妲。用自己导师的话来说就是：“如果你想短期间内有所突破，可以拜托一下这位小师妹。除非你有能力找来樱花国的光刻胶技术文档，否则，只有她能做到。”程新彤看着自己这传奇小师妹，内心里还在震惊她在材料研究所作出的突破。欧皇妲则是尴尬的挠着头，“那个，师姐，我其实不太懂光刻胶。”很快她带着几人进入到机密的实验大楼。门岗看到程新彤先是敬了个礼，然后看到后面的欧皇妲，制止说道：“抱歉，实验楼不能带吃喝进入。”欧皇妲眨着大眼，显然有些费解。只因自己走到哪里都是奶茶不离手的。虽然这奶茶比不上星空奶茶好喝，但一天不喝奶茶她浑身不得劲。程新彤见状，赶忙说道：“没事，这是我小师妹，不用管那些规矩。”“小师妹，你谦虚了……”程新彤笑着。随后，程新彤便带着她们参观了新彤光电的实验室，见到了研究光刻胶的诸多团队。因为程新彤本身就是材料出身的专家，自己也一直抓着这一块，哪怕是合并后，她主要负责的也是技术，因此一切都比较熟悉。在开了几个小会介绍眼下的问题，然后又说了紫晶工厂那边的要求后，一行人走进了核心研发会议室。程新彤示意助理把所有技术文档投影到大屏幕上，自己走到白板前，拿起记号笔，神情变得异常严肃。“小师妹，我跟你交个底吧。”程新彤在白板上写下几个关键词，“目前我们的光刻胶用在28n制程上已经完全没有问题，良品率能做到97以上。但紫晶那边下一代产品线直接跳到了13n，这中间的差距，比我想象的要大得多。”欧皇妲歪了歪脑袋，吸了一口奶茶：“卡在哪儿了？”程新彤叹了口气，在白板上画了几条线：“第一，分辨率。13n节点要求光刻胶的分辨率控制在10n以内，否则会出现桥接和断线。我们的配方目前极限只能做到16n左右，再往下，线条就会开始扭曲。”她顿了顿，又写下第二点：“第二，线宽粗糙度，也就是lwr。紫晶要求lwr低于15n，我们现在勉强能做到22n。别看就差07n，这背后涉及的是分子量分布和光酸扩散长度的平衡问题。我带着团队试了三个月，调整了三十多种聚合物配比，始终突破不了。”程新彤有些失落，她没想到自己带领的团队，还真就迟迟没法解决这个问题。自己好歹从校园出来后，也从事这方面的研究二十年。结果科技就是这样，突破不了，就是没法突破。稍作停顿后，她继续往下分析。“第三，敏感度。”程新彤的声音带上了一丝疲惫，“13n制程用的光源波长极短，能量密度很高。我们的光刻胶要么敏感度不够，曝光时间太长影响产能；要么敏感度上去了，但又会出现严重的产酸扩散，导致图案模糊。这个平衡点，我找了国内三个顶尖团队会诊，都没给出可行方案。”“我也请教过导师……导师一时间也没有什么建议。”程新彤苦涩的说道，“只说需要多尝试，用时间来试错。”程新彤面露无奈，时间，她现在最缺的就是时间！自从跟光电集团合并后，强强联合，公司的业务方面需要她担心的并不多，因此研究资金也丰裕了不少。可是如果再迟迟没法突破。跟不上樱花国的前沿光刻胶步伐，那恐怕将会错过这个千载难逢的机会。特别是紫晶工厂作为自研光刻机的机构，一旦对南彤光电失望，选择支持其他的光刻胶，那缺乏后续持续资金的投研，恐怕将会被淘汰。旁边一位戴眼镜的男研究员补充道：“程总，还有缺陷率的问题。上周测试的批次，显影后缺陷密度还在30个平方厘米以上，紫晶那边要求低于5个。”程新彤点了点头，看向欧皇妲：“小师妹你看，分辨率、lwr、敏感度、缺陷率，每一个都是死结。现在紫晶那边的采购部已经放话了，如果三个月内拿不出达标的小批量样品，他们就要考虑在跟其他的厂家合作，支持其他厂家的光刻胶研究。甚至……他们要自己展开研究。师姐我也是没办法了。”程新彤无奈的说着。会议室里安静了几秒。秦岚在一边如听天书，但她心里觉得：“这不会是紫晶工厂为了刺激新彤故意放出狠话吧？目前国内最顶级的就是新彤，再支持其他厂家，那不是要耗费更多时间么。”欧皇妲放下奶茶杯，走到大屏幕前，目光扫过那些密密麻麻的参数表格和分子结构式。“师姐，你们的聚合物骨架用的是甲基丙烯酸酯类吧？”欧皇妲忽然开口。程新彤跟着她的目光，立即回答道：“对，pa衍生物，目前国内最成熟的体系。”“光酸产生剂呢？三芳基硫鎓盐？”“是。”“淬灭剂用的三级胺？”“没错。”程新彤眼睛亮了一下，“小师妹你怎么一眼就看出来了？”：（）公司搞出光刻机，员工逼我当首富