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第428章 上门投靠（第1页）

江州，启明防务技术研究院，地下二层。光子工厂的基建工程正在疯狂推进。为了隔离辐射，光源被安放在厚达两米的混凝土掩体中。而光刻机车间，在距离掩体50米之外的地方。这意味着，这束宝贵的193n激光，必须穿过一条长达50米的真空管道，经过至少8次反射，才能到达光刻机的曝光台。第一次联调测试。“光源功率：100w，发射！”丁院士下达指令。掩体内的ssb光源发出幽幽蓝光。但在50米外的光刻机入口处，功率计的读数却让所有人倒吸一口凉气。接收功率：05w。损耗率：995。“光呢？”王海冰咆哮道，“995瓦的能量去哪了？被鬼吃了吗？”“被镜子吃了。”张教授长春光机所拿着一片刚刚拆下来的反射镜，脸色惨白。镜片中心，原本光洁的膜层已经发黑、起泡，仿佛被烟头烫过一样。“林董，我们遇到了反射率灾难。”“193n光子能量太高。普通的铝膜反射率只有90。经过8次反射，09的8次方，只剩下43。”“这还是理论值。实际上，镜片吸收了能量后发热，膜层结构破坏，反射率会进一步雪崩。”“剩下的995瓦能量，全部变成了热，烧毁了我们的光学系统。”林远看着那片废镜。“我们需要更高的反射率。”“多少？”“999。”张教授伸出三根手指，“少一个9，光就送不到。”要做到999的反射率，金属膜铝、银是不可能的，必须用全介质多层膜。利用光的干涉原理，镀上几十层高折射率和低折射率交替的材料，让反射光叠加增强。“材料选什么？”林远问。“对于193n，只能选氟化物。”张教授在白板上写下化学式，“氟化镧f3做高折射率，氟化镁gf2做低折射率。”“但是，氟化物有个致命弱点应力大，易裂。”“我们要镀60层膜，总厚度3微米。这层膜的内应力，足以把基底玻璃拉弯，甚至直接崩裂。”实验室里，ibs镀膜机再次启动。“第一炉，60层f3gf2。”出炉。“咔嚓。”镜片还没拿稳，膜层就像干裂的土地一样，碎成了一片片鱼鳞。“张力太大了。”张教授摇头，“膜层想收缩，基底不让崩了。”“那就反向补偿。”林远提出了方案。“在镜片的背面，也镀一层膜！”“这层膜不需要光学性能，只需要它的应力与正面膜层相反且相等。”“正面拉，背面也拉。两股力抵消，镜片就平了。”这需要极高的应力控制精度。膜厚误差不能超过1纳米。经过二十次试镀，报废了价值上千万的镜胚后。终于，一片双面镀膜的反射镜，完整地走下了生产线。反射率测试：9992。“过关了！”解决了“吃光”的问题，接下来是“跑偏”的问题。50米的距离。这就像是在百米开外，用激光笔射中一只苍蝇的眼睛。光束指向稳定性potgstability要求：＜1微弧度μrad。也就是说，光源端抖动1微米，到了50米外，光斑就会偏离好几毫米，直接打在墙上。“林董，我们稳不住。”负责机械结构的工程师指着地基震动监测仪。“虽然我们做了隔振地基，但周围环境的震动太大了。”“江钢的重卡路过、隔壁车间的冲压机、甚至50公里外的高铁经过，都会通过地壳传导过来微震。”“这些震动频率在1hz到100hz之间。对于光路来说，这就是大地震。”光斑在靶面上疯狂跳动，根本无法锁定。“被动隔振弹簧、气垫没用。”汪韬看着数据，“低频震动隔不掉。”“必须上主动稳像。”林远下令。“1传感器：在光路每一个转折点，安装psd位置敏感探测器。实时捕捉光斑的偏移量。”“2执行器：把反射镜座，换成压电陶瓷快速反射镜faststeergirror，fs。”“3算法：汪总，上盘古控制模型。搞一个高带宽闭环反馈系统。”“当psd检测到光斑偏了01微米，fs要在01毫秒内，偏转0001度，把光踢回去！”系统搭建完毕。fs反射镜发出高频的“滋滋”声，它在以每秒1000次的频率微调角度，对抗着来自大地的震动。“启动闭环控制。”屏幕上，原本乱跳的光斑，突然像被钉子钉住了一样，死死地停在靶心中央。小主，这个章节后面还有哦，，后面更精彩！抖动量：05微弧度。“稳住了！”但是，还没等大家高兴太久。“警报！fs驱动器过热！”“压电陶瓷发热严重！线性度下降！”高频震动带来了巨大的热量，导致压电陶瓷的迟滞效应变大，控制精度开始漂移。“加散热！”林远当机立断。“给每个镜座，加装半导体制冷片tec，恒温控制在25±001度！”这是一场与“熵”的战斗。为了维持那一束光的稳定，背后是无数套复杂的温控、电控系统在疯狂运转。光强够了，光路稳了。但在连续运行了24小时后，一个新的问题出现了。“光功率在衰减。”王海冰看着监控曲线。“每小时衰减1。照这个速度，三天后就没光了。”“去检查镜片。”工程师打开真空管道，取出了反射镜。所有人倒吸一口凉气。原本晶莹剔透的镜片表面，覆盖了一层薄薄的、黑色的物质。“是碳。”张教授用光谱仪测了一下。“哪里来的碳？”林远问，“我们的管道是超高真空uhv，10的负9次方帕。怎么会有碳？”“光化学污染。”汉斯叹了口气。“真空系统里，不可避免地会有微量的有机挥发物vocs。比如密封圈释放的烷烃、泵油的蒸汽。”“在193n高能光子的轰击下，这些有机分子会发生裂解，碳原子沉积在镜片表面，形成石墨层。”“石墨对紫外光是强吸收的。这层膜越厚，吸收越强，镜片越热，最后炸裂。”这是深紫外光学系统的癌症。asl当年为了解决这个问题，花了整整五年。“换金属密封圈？换无油泵？”王海冰问。“没用。哪怕是一个分子的有机物，时间长了也会累积。”“不能防，只能洗。”林远提出了方案。“我们不能每次都把镜子拆下来洗。那样光路又要重新调。”“我们要搞原位清洗。”“在每个反射镜仓里，安装一个射频等离子体发生器。”“当我们不曝光的时候，向仓内通入微量的氧气。”“激发氧等离子体。”“活性氧原子o会与镜片上的碳发生反应，生成二氧化碳气体，被真空泵抽走。”“这叫光刻机的透析。”风险就是氧等离子体如果不控制好，会连同镜片上的镀膜一起腐蚀掉。“汪总，这又需要你的算法了。”“根据碳沉积的速率，精确控制清洗时间和功率。多一秒伤膜，少一秒洗不净。”一个月后。所有子系统就位。高反射率氟化物膜、主动稳像fs系统、原位等离子清洗系统。“全系统联调。”林远站在光刻机车间。50米外，地下掩体里，ssb光源全功率输出。“光闸打开！”一道看不见的深紫外光束，穿过了漫长的真空管道，在8面反射镜上跳跃、折射。它躲过了地面的震动，穿透了黑色的碳膜，最终……轰击在光刻机的照明系统入口处。功率计读数跳动：接收功率：65w。传输效率：65！虽然损失了35，但这对于193n波段来说，已经是工程学的奇迹。这65w的功率，依然是传统光源的15倍！“光到了！”王海冰激动得热泪盈眶。他们用一堆并不完美的零件，通过极致的系统工程和算法补偿，搭建起了一条通往纳米世界的光之高速公路。庆功宴上，大家都很沉默。只有他们自己知道，这束光背后，是多少个不眠之夜，是多少次在物理极限边缘的试探。“林董，”汉斯喝了一口啤酒，“这套传输系统，造价太高了。”“光是那些fs镜子和控制系统，成本就超过了光源本身。”“如果要在全国推广，这笔钱……”“钱不是问题。”林远看着手中的酒杯。“问题是，我们把设备做成了精密仪器，这很难维护。”“我们需要把这套系统傻瓜化。”“下一步，我们要搞集成光路。”“把这些分立的镜子、传感器、控制器，全部集成到一个真空光模块里。”“像搭积木一样，一节一节拼起来。”“这就需要标准的制定。”林远放下了酒杯。“通知李俊峰。”“启明联盟，成立先进光源与光学传输委员会。”“我们要制定中国光路标准。”“所有想给工业之心供货的光学厂商，必须按这个标准来。”就在这时，顾盼匆匆走了进来，神色古怪。“老板，有个意外的消息。”“怎么了？”“尼康的人来了。”“日本人？”林远眉头一皱，“东和财团派来的？”“不。”顾盼摇头。“是尼康总部的造反派。”“他们说，他们被asl压制了太久，快要破产了。”“他们听说我们在搞计算光刻和新型光源，想带枪投靠。他们手里，有我们最缺的一样东西大数值孔径high-na物镜设计图。”林远笑了。敌人的联盟，开始瓦解了。在生存面前，没有永远的敌人。“让他们进来。”“我想听听，这些曾经的光刻机霸主，能开出什么价码。”：（）官道红颜：她们助我一路升迁